램리서치

1989년 램리서치코리아를 설립해 30년 이상 한국 반도체 산업과 함께 성장했다.

2019년 이사회에서 본사 연구개발센터를 한국으로 완전 이전하기로 결정했다. 해외 소재·부품·장비 회사가 한국에 연구소를 세운 적은 있어도 본사 연구개발 기능 전체를 옮기는 것은 매우 이례적이다 — 한국이 앞으로 10년 이상 세계 메모리 기술과 시장을 이끌 것이라는 판단이 깔렸다.

3년간 1,800억원을 투자하고 연구인력 500명을 새로 뽑을 계획이었다. 장비에 들어가는 부분품 국산화 비율을 75%까지 확대할 방침도 밝혔다.

2019년 램리서치코리아테크놀로지를 설립했다 — 초기 투자는 5,000만 달러(약 560억원)였다.

2022년 4월 26일 경기 용인 지곡산업단지에 코리아테크놀로지센터를 열었다. 최첨단 클린룸이 있고 박사급 과학자와 엔지니어 100여 명이 근무한다. 개관식에는 팀 아처 회장, 산업통상자원부 1차관, 주한 미국대사 대리, 삼성전자 최고기술책임자 등 50여 명이 참석했다. 팀 아처는 이 자리에서 최근 2년간 한국에서의 생산량을 두 배 늘렸다고 밝혔다.

이 센터는 고객사와 공동 실험·검증을 통해 개발 속도를 기존 대비 2~2.5배 높였고, '아카라'와 '크라이오 3.0'이 D램·낸드 분야에서 초기 성과를 보였다.

2026년 2월 11일 세미콘 코리아 2026 기조연설에서 '벨로시티 랩'을 코리아 테크놀로지 센터에 도입한다고 발표했다. 미국 본사 외에 유일하게 한국 용인에 두는 선행 연구소로, 5~10년 뒤 나올 차세대 장비용 소재·부품을 국내 기업들과 공동 연구한다. 팀 아처는 7~10년 후 차세대 기술에 필요한 새로운 소재, 아키텍처, 화학물질을 연구하는 플랫폼이며 한국 생태계의 화학·소재·부품 기업들과 협력할 기회가 될 것이라고 밝혔다. 벨로시티 랩은 램리서치가 주도한 결정이며, 큰 예산과 시간을 들여 풀 사이즈 장비를 만들기 전에 작은 규모로 먼저 시도하려는 것이라고 설명했다 — 칩 개발 주기가 2년에서 1년으로 짧아진 것이 배경이다.

국내 법인은 넷이다 — 한국램리서치, 램리서치코리아(1991년 설립, 최근 매출 1조 4,643억원), 램리서치매뉴팩춰링코리아, 램리서치코리아테크놀로지(2019년 설립, 최근 매출 1,563억원). 한국 법인 총괄 대표는 박준홍이다 — 2002년 노벨러스 시스템스 미국 본사에 입사해 식각 분야 요직을 거쳤다.

한국 매출 비중이 빠르게 오르고 있다. 2025년 3분기 15%에서 4분기 20%, 2026년 1분기 23%로 중국에 이어 2위다. 같은 기간 ASML은 한국 비중이 22%에서 45%로 뛰어 단일 국가 기준 최대 시장이 됐다 — SK하이닉스가 극자외선 노광장비를 약 69억 유로(약 11조 9,000억원)어치 사기로 공시한 영향이다. 어플라이드머티어리얼즈도 18%에서 21%로 올랐다. 삼성전자와 SK하이닉스의 인공지능 메모리 투자가 세계 장비사 매출 구조를 바꾸고 있다.

여기서부터는 반대 방향이다 — 램리서치에 부품을 대는 국내 회사들이다.

티씨케이는 실리콘카바이드 포커스링을 만든다. 식각 공정에서 플라즈마를 웨이퍼 주변에 균일하게 모으고 웨이퍼를 보호하는 소모품이다. 비포마켓 업체로 램리서치·어플라이드머티어리얼즈·도쿄일렉트론 같은 장비사를 거쳐 메모리 회사에 간접 납품하며, 최대 고객사가 램리서치다. 매출의 84%가 실리콘카바이드 공정 부품, 9%가 반도체용 고순도 흑연이다. 낸드 단수가 높아질수록 식각 층수가 늘어 포커스링 사용량 자체가 늘어난다. 소모품이라 장비사가 양산 라인 전환에 앞서 재고를 미리 확보하고, 양산이 시작되면 소모되면서 추가 발주가 이어지는 구조다. 하이브리드 본딩 공정에도 적용되기 시작했고, 2026년 1분기에 중국 장비 업체를 신규 고객으로 확보했다.

하나머티리얼즈·케이엔제이는 애프터마켓 업체로 같은 부품을 삼성전자·SK하이닉스에 직접 납품한다. 하나머티리얼즈는 2026년 1분기 가동률 80%대에 영업이익률 20% 중후반을 유지했다.

같은 부품인데 파는 경로가 다르다. 티씨케이는 램리서치를 거치고 하나머티리얼즈는 바로 간다. 그래서 티씨케이는 램리서치 실적을 따라가고, 하나머티리얼즈·케이엔제이는 삼성전자·SK하이닉스 투자를 따라간다.

텍슨은 램리서치와 15년 협력했다. 파워박스에서 시작해 프레임 어셈블리, EFEM(웨이퍼를 장비 안으로 옮기는 장치), 프로세스 챔버로 협력 범위를 넓혔고 두 차례 램리서치 '우수 공급업체'에 선정됐다. 임직원 1,000여 명이며, 2026년 반도체 부문 매출이 전년 대비 2.5배 이상 늘 것으로 회사는 본다.

식각 공정의 플라즈마 강도가 높아지면서 포커스링 소재가 실리콘에서 실리콘카바이드로 바뀌는 추세다.